外延片是在拋光片基礎上,通過化學氣相沉積方法在硅片表面生長一層外延硅單晶薄膜的硅片產(chǎn)品。外延片能實現(xiàn)不同于拋光片的優(yōu)良近表面特性,滿足不同客戶對硅片的定制化需求。根據(jù)拋光片襯底中摻雜劑濃度的不同,外延片可分為P/P-、P/P+和N/N++等類型。
奕斯偉材料生產(chǎn)的12英寸電子級外延片具有優(yōu)良的電阻率和厚度均勻性,廣泛應用于邏輯、圖像傳感器、顯示驅(qū)動、功率器件等芯片的制造。
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